Technological equipment for obtaining metal coatings by decomposing metalorganic compounds with CVD method | Технологическое оснащение процесса получения металлических покрытий CVD-методом металлоорганических соединений

Английский. Presented are proposals to apply a method of chemical gas-phase deposition of metals (CVD-method) in agricultural engineering for obtaining wear-proof and corrosion-resistant coatings. Provided is basic information containing is a detailed description of the equipment, new methods of applying coatings and technological modes, as well as give overview information on the method of chemical gas-phase deposition. Described is new technological equipment for the implementation of chemical gas-phase metal deposition by decomposition of metalorganic compounds (MOC) in a liquid or a solid phase. Two main methods of the MOC input into the reaction chamber (for liquid and solid MOC) are considered. Presented is a block diagram and photographs of the installation allowing getting a complete picture of the process and showing a commercially available installation for applying PVD coatings that is modified and adapted to chemical gas-phase deposition processes. There are also offered the most promising areas for using the CVD-method of MOС decomposing in industrial production and present a list of the most promising areas of utilizing MOC in industrial production indicating the technological modes of their decomposition.

Русский. Представлены предложения по использованию в с.-х. машиностроении для нанесения износостойких и коррозионно-стойких покрытий метода химического газофазного осаждения металлов (CVD-метода). Изложена основная информация, в которой имеется подробное описание оборудования, новых способов нанесения покрытий и технологических режимов, а также обзорная информация по методу химического газофазного осаждения. Дано описание новых средств технологического оснащения для реализации процесса химического газофазного осаждения металла разложением металлоорганических соединений (МОС), находящихся в жидкой или твердой фазе. Рассмотрены два основных способа подачи МОС в реакционную камеру (для жидкого и твердого МОС). Представлена структурная схема и фотографии установки, позволяющие получить полное представление о процессе. Показана серийно выпускаемая установка для нанесения PVD-покрытий, доработанная и адаптированная к процессам химического газофазного осаждения. Предложены наиболее перспективные направления использования CVD-метода МОС в промышленном производстве. Представлен перечень наиболее перспективных для использования в промышленном производстве МОС с указанием технологических режимов их разложения.